配置方式

立式、卧式配置

平面总成，球面总成

静态测量，相位移调制测量

附件

标准平面和球面参照镜

与ZYGOTM参照镜相容

标准衰镜

干涉仪支撑/调整用四脚座

水平五轴调整座

IntelliWave TM分析

Windows XP系统 干涉条纹静态与相位移调制分析

完整的分析工具，包括统计资料、像差

绕射分析、影像加工、以及几何影像转换

干涉图转换成光学（OPD）或表面地图（surface map）

自动反复测量或自动化分析功能

相互连接Lab VIEW 、Research Systems IDL 、Math Work、Matlab和Microsoft Excel软件

1 蜂谷值（PV ，Peak-to-Valley） 是取得长度上，测量高度点与点间的距离

2 均方根值（RMS，Root-Mean-Square）是取样长度上，距离高度中心线的均方根偏差值。

3 三平面检定方（3-Flat Test ）最使用三个平面参照镜相互检测的测量方式。

4 重复性（Repeatability）的定义：对相同的组件进行100次量测，而每组量数据是由20个数据平均后取得，100组测

数据统计分析，定义重复性即是一个标准差值

激光光源
波长/ 功率	He-Ne ,632.8nm , 0.7mw
测量光束直径	15英寸（38mm）
偏振性	圆偏振动（Circular Polarization）
相干长度	＞100公尺
控制方式
观察调整	4On/off 开关
变焦	旋转度盘
对焦调整	旋转钮
光强调整	旋转钮
模式切换	手动切换
光 学 部 分
变焦范围	1X—6X
对准调整	二点调整
观察调整角	±1.8度
预热时间	＜ 30分钟
视频规格
摄像机	RS170， 640X480像素
显示器	计算机含LCD屏幕或视频监视器
电气部份
电 源	110/240 Volts ,50/60Hz (50 watts)
机械部份
尺寸	120*120*250mm
重量	6 kg
测量性能（应用 IntelliWAare TM软件量结果）
系统准确度（三平面检定法）（3）	λ/100 , 峰谷值（1）
峰谷值重复性（4）(PV Repeatability）	λ/3 00 , 峰谷值（1）
均方值重复性能（2）（4）(RMS Repeatability)	λ/2,000
干涉条纹解像度(Fringe Resolution ）	180条