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◆热式原理，精度更高，响应更快，带网口
◆管状分流，不易堵塞TOS-20F高精度质量流量计/流量控制器采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
二、产品应用
| 半导体行业 | 太阳能 | 大气监测 | 工业制作 | 石油石化 |
| 煤炭冶金 | 制气配气 | 环保 | 玻璃行业/各种仪器分析 | |
三、产品参数
| 产品型号 | TOS-20F |
| 量程范围 | 2SCCM～30SLM |
| 测控范围 | 流量计量程比100:1 控制器量程比50:1 |
| 准确度 | ±0.5%F.S |
| 线性 | ±0.5%F.S |
| 重复精度 | ±0.2%F.S |
| 响应时间 | 流量计：＜0.1s |
| 流量控制器：<0.2s | |
| 数字量 | RS232/485，MODBUS协议 |
| 模拟量 | 0～5V、4-20mA、1～5V |
| 供电 | ±15VDC，24VDC |
| 工作温度 | 0～50℃ |
| 工作压力 | 工作压降：<0.01Mpa |
| 耐压 | 3MPa/10MPa |
| 电气连接 | DB9孔 |
| 漏率 | 1×10-9Pa m3/S |
| 温度系数 | ±0.025%F.S/℃ |
| 底座材质 | 不锈钢 |
| 密封材质 | 氟橡胶，氯丁橡胶，丁腈橡胶 |
| 接头 | φ3，φ6，1/8"，1/4" |
四、产品尺寸图
