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：CLS 5000
是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。
CLS 5000技术参数:
激光介质 | ArF | KrF | XeCl |
波长 (nm) | 193 | 248 | 308 |
脉冲能量 (mJ) | 15 | 25 | 12 |
重复频率 (Hz) | 500 | ||
平均功率 (W) | 7.5 | 12.5 | 6 |
脉冲能量稳定度(sigma, %) | < 2 | ||
光斑尺寸 (VхH, mm) | 12 х 3.5 | 12 х 4 | 12 х 4 |
光束发散角(FWHM, mrad, VхH) | 2 х 1 | ||
脉冲持续时间 (FWHM, ns) | 10 – 12 | ||
冷却方式 | 水冷 | ||
重量 (kg) | 85 | ||
尺寸 (LхWхH, mm) | 890 х 340 х 460 | ||
电源 | 220 V, 50-60 Hz, < 1000 VA | ||
可选功能和附件：
可能配置1000和2000赫兹
CLS 5000主要特点：
非常高的光束指向稳定性
高重复频率
能量稳定性好
设计紧凑
内置能量控制
带磁转换发生器
应用：
布拉格光栅
无掩膜光刻
准分子材料加工
激光视力矫正
