CHIKO集尘机：CBA-080AT3-HI,CBA-500AT3-HI,CBA-1200AT3-HI-V1
小型集尘机，低压型：CKU-450AT3-HC,CKU-240AT3-HC,CKU-080AT3-HC
激光打标专用：CBA-1000AT3-HC-DSA-V1,CKU-060AT3-ACC

（1）自动清扫功能【脉冲式】

大容量的脉冲空气（压缩空气）洗净功能，可有效保持滤网清洁及维持强劲的吸力。

（2）集尘匣

特殊的构造可有效防止开关时的粉尘飞散。配备专用的防静电塑胶袋储存粉尘，方便替换。

（3）排气法兰

可利用配管在室外排气。
＃特殊品（-V1）没有排气法兰。

［ 选配功能］等级1000无尘室对应
配备HEPA过滤器的(-V1)特殊机, 可以设置在等级1000的无尘室中使用。

(4) 等级1000无尘室对应 「选配功能」

配备HEPA过滤器的(-V1)特殊机, 可以设置在等级1000的无尘室中使用。