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在带有吸气阀和排气阀的圆形泵体（定子）内，装有一个偏心转子和在转子槽中靠离心力运动的三片叶片，这些叶片将泵分成三部分，它们的容积随阗转子的转动，周期性地变化，完成气体的抽吸，压缩，排出过程，从而使抽吸口处的气体被抽吸，形成真空。
| R5 | 单位 | 0025F | 0040F | 0063F | 0100F | 0160D | 0202D | 0250D | 0302D |
| 额定抽速 | M3/h | 25 | 40 | 63 | 100 | 160 | 200 | 250 | 300 |
| 极限压力 | mbar | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| 噪音 | db | 60 | 63 | 64 | 65 | 70 | 72 | 72 | 74 |
| 用油量 | L | 1 | 1 | 2 | 2 | 5 | 5 | 6.5 | 6.5 |
| 工作油温 | ℃ | 80 | 82 | 84 | 84 | 64 | 74 | 80 | 82 |
| 水蒸气消除率 | kg/h | 0.9 | 1.1 | 1.8 | 2.8 | 2.5 | 4 | 4.5 | 5 |
| 进气口螺纹 | G11/4" | G11/4" | G11/4" | G11/4" | G2" | G2" | G2" | G2" | |
| 电机额定功率 | KW | 0.75 | 1.1 | 1.5 | 2.2 | 4 | 4 | 5.5 | 5.5 |
| 电机额定转速 | rpm | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 整机重量 | Kg | 34 | 38 | 52 | 70 | 140 | 140 | 190 | 190 |
| 安装尺寸 | mm | 551*284*263 | 613*284*263 | 607*406*290 | 694*406*290 | 858*503*410 | 858*501*410 | 966*575*410 | 1024*573*410 |
