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NIE-3000离子束清洗系统产品概述:该系统为手动放片取片,但通过计算机全自动实现工艺控制的台式离子束刻蚀系统,系统具有结构紧凑、功能强大、自动化程度高、模块化设计易于维护、低成本的优势。
NIE-3000离子束清洗系统产品特点:
低成本
离子束:高达2KV/10mA
离子电流密度100-360uA/cm2
离子束直径:4",5",6"
兼容反应及非反应气体(Ar, O2, CF4,Cl2)
极限真空5x10-7Torr
260l/s涡轮分子泵,串接500 l/min干泵
14"不锈钢或铝质腔体
水冷旋转/倾斜样品台(NIE-3500)
自动上下载片(NIE-3500)
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
占地面积30"x30"
产品应用:
表面处理
离子铣
表面清洗
带活性气体的离子束刻蚀: 光栅刻蚀,以及SiO2,Si和金属的深槽刻蚀