WGFGT1PR1

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGPMOGGT2过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器

ENTEGRISXX67000WH过滤器

ENTEGRISWGGB01KAN气体过滤器

ENTEGRISWGFG01KL0过滤器

EntegrisWGFGT1PR1过滤器

ENTEK1442-PR-0812E0210N探头

ENTEK1442-DR-5850前置器

EntegrisWGFGMBRR4

ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器

ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISYY260103P滤壳

ENTEGRISPN2H010E1滤芯

EntegrisWGMXMBRR4过滤器

EntegrisWGFG02PR1过滤器

EntegrisWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISDS12-2C-16F-3气动阀

GENTECSS-RV32RA-TF8泄压阀

ENTEGRISWGPMOGGT2过滤器

ENTEGRISWGPMOGGT4过滤器

EntegrisWGPM0GGT4过滤器

EntegrisWG2SS8RR2过滤器

EntegrisWG3NS6RR2过滤器

ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3阀

ENTEGRISYY260103P滤壳

ENTEGRISPN2H010E1滤芯

ENTEGRISWGPMOGGT4过滤器

gentec-EoMAESTRO主机

gentec-EoUP19K-15S-H5-D0探头

ENTEGRISXX67000WH过滤器

ENTEGRISWGGB01KAN过滤器

ENTEGRISWGFG01KL0过滤器

ENTEGRISWGMXMBRR4过滤器

Wafergard  II F 微型在线气体过滤器
这些气体过滤器推荐用于惰性气体和反应性气体，与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性，并且易于安装在狭窄的气体面板和机柜中。 

PTFE 膜提供高效过滤
低压降降低了在较低蒸气压气体中冷凝的风险
与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性
用于惰性和反应性气体，包括臭氧
 应用
Wafergard  II F 微型在线气体过滤器应用
生命科学应用
臭氧应用（气体）
气柜和面板
超纯气体系统
内部流程工具
产品规格
材料
     滤芯
     由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房    电抛光 VAR 316L 不锈钢
下游清洁度     小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 µm 
挥发物    <10 ppb 水分
移除等级    ≥0.0015 µm    
表面处理内部    ≤7 µin Ra    
氦泄漏等级    合格的    2 × 10 -10毫升/秒
经过测试    1 × 10 -9毫升/秒
运行条件     入口压力    207 bar (3000 psig) @ 23°C (73°F)
 正向压差    4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
 
 反向压差    0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
 
 工作温度    120°C (248°F)
颗粒保留
     大于 99.9999999% (9 LRV) 在 30 slpm 下去除所有颗粒（参考 穿透性的颗粒尺寸）
流量等级    参考性能数据
零件号
Wafergard  II F 微型在线气体过滤器部件号
零件号    接头尺寸和类型    长度    应用
WG2FT1BW2    1/4" 对焊管    89.9 毫米（3.54 英寸）    半导体
WG2FT1RF2    1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）公入口/母出口    88.9 毫米（3.50 英寸）    半导体
WG2FT1RR2    1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口    84.1 毫米（3.31 英寸）    半导体
WG2FT1RR2L    1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口    84.1 毫米（3.31 英寸）    生命科学
WG2FT1SS2    1/4" 压缩密封（与世伟洛克接头兼容）    73.7 毫米（2.90 英寸）    半导体

ENTEGRISDS12-2C-16F-3侦测器

EntegrisWG2SS8RR2过滤器

EntegrisWG3NS6RR2过滤器

ENTEGRISWG3NS1RR2过滤器

ENTEGRISWG3NS2RR4过滤器

ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器

ENTEGRISYY260103N过滤器

EntegrisCR4-2C-6F-3气动阀

ENTEGRISWGPMOGGT4过滤器

EntegrisWG2FT1SS2过滤器

ENTEGRISWGFG01DS0（一包十个）滤芯

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRIS CTFV01P01KPW滤芯

ENTEGRISDS12-2C-16F-3 13085331气动阀

ENTEGRISWG3NS2RR4过滤器

ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器

ENTEGRISWGMXMBRR4过滤器

EntegrisCWFV0S1S3滤芯

ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器

ENTEGRISWGPMOGGT2过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISWGMXMBRR4过滤器

ENTEGRISDS12-2C-16F-3气动阀

ENTEGRISWGMXMSRR4过滤器

ENTEGRISCN2501E6滤芯

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

EntegrisWGPM0GGG2过滤器

entegrisWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWG2SS8RR2过滤器

ENTEGRISCN2501E6滤芯

EntegrisSVTH01TQ1过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISCN2501E06滤芯

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWGFG50PR1过滤器

ENTEGRISWGFG01DSH过滤器

ENTEGRISPLMV-K12阀

ENTEGRISPLMV-K04阀

ENTEGRISPLMV-K16阀

ENTEGRISPLPV-K04阀

ENTEGRISPLPV-K08阀

ENTEGRISPLPV-K12阀

ENTEGRISPLPV-K16阀

ENTEGRISWG2F02RR2

ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3气动阀

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

EntegrisWG2FT1RR2过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

EntegrisYY5032PS1过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWGMXMBRR2

EntegrisWG2FT1RR2过滤器

EntegrisWG2FT1RR2过滤器

entegrisWGFGT1PR1过滤器

EntegrisYY5032PS1

EntegrisWGFG21KP0

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

EntegrisWG2FT1RR2过滤器

ENTEGRISWGPMOGGT2美国ENTEGRIS应特格过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISWGFG01DS0过滤器美国ENTEGRIS应特格过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISLGMXFPRR4过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISLGMXFPRR4过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器