一般特性

• 通过指示灯显示继电器状态，可以快速验证和调试测量设置
• 支持使用键盘或可选光笔在前面板上进行控制操作
• Keysight EasyEXPERT 软件可以通过直观的 GUI 控制和自动执行开关设置
• 优化的 CV 输入包括综合的 EasyEXPERT 软件电容补偿

测量能力

• 使用 4156C、B1500A 或 E5270B HRSMU，通过开关可实现 10 毫微微安的测量分辨率
• < 2 秒的瞬时电流稳定时间（< 300 fA）（10 V 输入步进）
• 30 MHz 带宽（- 3 dB）
• 为低电流（三轴）路径提供 50 T 欧姆的通道隔离

体系结构

• 8 路低电流（三轴）输入和 6 路通用（同轴）输入
• 模块化设计支持 x12、x24、x36 和 x48 三轴输出配置
• 14 条内部路径（无多路复用的输入）
• 兼容 Keysight B2220A 低泄漏探头卡接口

本页内容：行业挑战 • 摘要 • 特性和优势 • 元器件 • 主要技术指标 • 相关是德产品

B2201A 可自动执行表征测试，从而降低测试成本，对半导体参数分析仪的测量性能只有轻微影响。它支持 4 SMU Kelvin 配置和电容表，并可在未来进行扩展。此外，它还具有 14 路输入，每路输入都使用的内部测量路径，其中两路输入还具有特殊的电容测量补偿特性。它还支持脉冲发生器等仪器。用户可使用键盘或可选光笔通过前面板进行操控。

行业挑战

对半导体晶圆上的众多测试结构进行所有必要的参数测量，可能需要耗费大量时间和成本。随着最终用户设备的成本持续下降，甚至实验室表征环境也必须降低测试成本。使用包含半自动或全自动晶圆探头的开关矩阵，可以自动执行表征测试，在每次测试新模块时也无需操作人员手动复位探头。这样既缩短测试时间，又节省测试成本。

许多现有的开关矩阵都有内在的局限性。例如，许多开关矩阵会降低半导体参数分析仪的低电流测量性能，成为测量链中弱的环节。如果内部路径数量不足，那么开关矩阵就无法支持 4 终端 Kelvin 测量和电容表，而且每次将测量从 IV 变成 CV 时都需要花很长时间手动改变电缆连接。最后，如果开关矩阵不能对电容测量结果进行补偿，以消除因路径长度而产生的测量失真，那么这些测量结果也将会是不准确的。

摘要

出色的开关矩阵性能，适中的价格

B2201A 14 通道低泄漏开关主机提供出色的低电流泄漏和电容测量性能，没有其他替代解决方案所具有的限制。能够支持 10 fA 测量，意味着它不会严重降低半导体参数分析仪的高性能。它的价格适中，可以为要求不是特别苛刻的测量环境提供经济高效的测量性能。输入数量足够多，则可以支持4-SMU Kelvin 配置。所有 14 路输入对应的内部路径，因此可以同时使用。与其他同类解决方案不同，它可以避免每个通道的路径长度不同所产生的固有误差，确保电容测量结果不会出现失真；此外，系统提供了必要的参数和算法来补偿这些差异。它的模块化结构支持 12、24、36 或 48 路输出配置，使用起来具有极大的灵活性。30 MHz 带宽使它可以使用脉冲发生器等仪器。附加的 LED 显示屏和使用键盘或可选光笔进行操控的前面板，使操作人员可以非常灵活地进行操作。

• 紧跟半导体参数分析仪性能的步伐
  的半导体参数分析仪已经达到新的性能水平。B2201A 开关矩阵能够支持 10 fA 测量分辨率，紧跟半导体参数分析仪性能的步伐，而不会严重降低测量性能。
• 避免多路复用的测量限制
  避免花费很长时间手动切换 B2201A 的 14 条内部测量路径，因而延误测量进度。每路输入都有自己的内部路径，可以同时工作，避免因为在共享路径上多路复用输入所带来的限制。
• 准确的电容测量
  特别是在测量电容时，电缆长度（包括矩阵中的路径）对测量结果有很大影响。通过使用针对电容测量优化过的两路 BNC 输入，B2201A 开关矩阵主机――与同类解决方案不同――可以校正因为矩阵内部路径长度而产生的误差，提供补偿参数以确保测量结果不失真。

特性和优势

元器件

• B2201A 14 通道低泄漏开关主机
• B2211A 14 通道低泄漏开关模块

主要技术指标