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面议本页内容:行业挑战 • 摘要 • 特性和优势 • 元器件 • 主要技术指标 • 相关是德产品
B2200A 可自动执行表征测试,从而降低测试成本,同时不会影响半导体参数分析仪的测量性能。它支持 4 SMU Kelvin 配置和电容表,并可在未来进行扩展。此外,它还具有 14 路输入,每路输入都使用的内部测量路径,其中两路输入还具有特殊的电容测量补偿特性。它还支持脉冲发生器等仪器。用户可使用键盘或可选光笔通过前面板进行操控。
对半导体晶圆上的众多测试结构进行所有必要的参数测量,可能需要耗费大量时间和成本。随着最终用户设备的成本持续下降,甚至实验室表征环境也必须降低测试成本。使用包含半自动或全自动晶圆探头的开关矩阵,可以自动执行表征测试,在每次测试新模块时也无需操作人员手动复位探头。这样既缩短测试时间,又节省测试成本。
许多现有的开关矩阵都有内在的局限性。例如,许多开关矩阵会降低半导体参数分析仪的低电流测量性能,成为测量链中弱的环节。如果内部路径数量不足,那么开关矩阵就无法支持 4 终端 Kelvin 测量和电容表,而且每次将测量从 IV 变成 CV 时都需要花很长时间手动改变电缆连接。最后,如果开关矩阵不能对电容测量结果进行补偿,以消除因路径长度而产生的测量失真,那么这些测量结果也将会是不准确的。
的开关矩阵性能
B2200A fA 级低泄漏开关主机提供出色的低电流泄漏和电容测量性能,没有其他替代解决方案所具有的限制。能够支持 1 fA 测量,意味着它不会降低半导体参数分析仪的高性能。输入数量足够多,则可以支持4-SMU Kelvin 配置。所有 14 路输入对应的内部路径,因此可以同时使用。与其他同类解决方案不同,它可以避免每个通道的路径长度不同所产生的固有误差,确保电容测量结果不会出现失真;此外,系统提供了必要的参数和算法来补偿这些差异。它的模块化结构支持 12、24、36 或 48 路输出配置,使用起来具有极大的灵活性。30 MHz 带宽使它可以使用脉冲发生器等仪器。附加的 LED 显示屏和使用键盘或可选光笔进行操控的前面板,使操作人员可以非常灵活地进行操作。
特性 | 优势: |
---|---|
1 毫微微安(femtoamp)分辨率的电流测量能力 | 开关矩阵不会影响半导体参数分析仪的测量性能。 |
8 路三轴输入和 6 路 BNC 输入 | 支持 4 SMU Kelvin 配置和电容表,并留出 4 路 BNC 输入用于未来扩展; |
14 条可同时使用的内部路径 | 使您能够同时使用全部 8 路三轴输入和全部 6 路 BNC 输入。 |
电容测量补偿特性 | 校正因为矩阵内部路径长度而产生的误差,使您可以通过开关矩阵准确测量电容。 |
LED 显示屏和可通过键盘或可选光笔进行操控的前面板 | 通过显示矩阵继电器状态以及支持手动更改继电器状态,使您能够对测量结构进行离线调试。 |
30 MHz 带宽 | 您可以通过 B2200A 开关使用脉冲发生器等仪器。 |
B2200A | |
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技术指标 | 值 |
端口数 | |
I-V 端口 | 8 个三轴端口(包括 Guard 端口) |
AUX 端口 | 6 个 BNC 端口(2 个 CV 端口) |
输出通道 | 可使用三轴端口(包括 Guard 端口)、x12、x24、x36 和 x48 配置 |
插槽数 | 4 个插槽,用于插入 48 毫米高的开关模块 |
B2210A | |
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技术指标 | 值 |
额定电流 | |
I-V 端口 | 1.0 A |
AUX 端口 | 0.5 A |
额定电压 | |
I-V 端口(其他通道) | 200V |
I-V 端口(通用) | 300V |
AUX 端口(其他通道) | 100V |
AUX 端口(通用) | 100V |
通道隔离 | |
I-V 端口 | 1 x 10^14(欧姆) |
AUX 端口 | 1 x 10^9(欧姆) |
偏置电流(补充) | |
IV 端口 | 50 fA |
IM 噪声(RMS)(补充) | |
I-V 端口 | 5 fA |
其他电容测量误差(补充) | < ± 1 % + 0.2 pF |
带宽(--3 dB 时) | 30 MHz |
稳定时间(补充) | 2.0 秒(50 fA 时) |