B2200A fA 级低泄漏开关主机

B2200A fA 级低泄漏开关主机

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-04-16 07:23:41
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产品简介

一般特性 通过指示灯显示继电器状态,可以快速验证和调试测量设置 支持使用键盘或可选光笔在前面板上进行控制操作 Keysight EasyEXPERT 软件可以通过直观的 GUI 控制和自动执行开关设置

详细介绍

一般特性

  • 通过指示灯显示继电器状态,可以快速验证和调试测量设置
  • 支持使用键盘或可选光笔在前面板上进行控制操作
  • Keysight EasyEXPERT 软件可以通过直观的 GUI 控制和自动执行开关设置
  • 优化的 CV 输入包括综合的 EasyEXPERT 软件电容补偿

测量能力

  • 使用 4156C、B1500A 或 E5270B HRSMU,通过开关可实现 1 毫微微安的测量分辨率
  • < 2 秒的瞬时电流稳定时间(< 50 fA)(10 V 输入步进):这是补充数据
  • 30 MHz 带宽(- 3 dB)
  • 为低电流(三轴)路径提供 100 T 欧姆的通道隔离

体系结构

  • 8 路低电流(三轴)输入和 6 路通用(同轴)输入
  • 模块化设计支持 x12、x24、x36 和 x48 三轴输出配置
  • 14 条内部路径(无多路复用的输入)
  • 兼容 Keysight B2220A 低泄漏探头卡接口

本页内容:行业挑战 • 摘要 • 特性和优势 • 元器件 • 主要技术指标 • 相关是德产品

B2200A 可自动执行表征测试,从而降低测试成本,同时不会影响半导体参数分析仪的测量性能。它支持 4 SMU Kelvin 配置和电容表,并可在未来进行扩展。此外,它还具有 14 路输入,每路输入都使用的内部测量路径,其中两路输入还具有特殊的电容测量补偿特性。它还支持脉冲发生器等仪器。用户可使用键盘或可选光笔通过前面板进行操控。

行业挑战

对半导体晶圆上的众多测试结构进行所有必要的参数测量,可能需要耗费大量时间和成本。随着最终用户设备的成本持续下降,甚至实验室表征环境也必须降低测试成本。使用包含半自动或全自动晶圆探头的开关矩阵,可以自动执行表征测试,在每次测试新模块时也无需操作人员手动复位探头。这样既缩短测试时间,又节省测试成本。

许多现有的开关矩阵都有内在的局限性。例如,许多开关矩阵会降低半导体参数分析仪的低电流测量性能,成为测量链中弱的环节。如果内部路径数量不足,那么开关矩阵就无法支持 4 终端 Kelvin 测量和电容表,而且每次将测量从 IV 变成 CV 时都需要花很长时间手动改变电缆连接。最后,如果开关矩阵不能对电容测量结果进行补偿,以消除因路径长度而产生的测量失真,那么这些测量结果也将会是不准确的。

摘要

的开关矩阵性能

B2200A fA 级低泄漏开关主机提供出色的低电流泄漏和电容测量性能,没有其他替代解决方案所具有的限制。能够支持 1 fA 测量,意味着它不会降低半导体参数分析仪的高性能。输入数量足够多,则可以支持4-SMU Kelvin 配置。所有 14 路输入对应的内部路径,因此可以同时使用。与其他同类解决方案不同,它可以避免每个通道的路径长度不同所产生的固有误差,确保电容测量结果不会出现失真;此外,系统提供了必要的参数和算法来补偿这些差异。它的模块化结构支持 12、24、36 或 48 路输出配置,使用起来具有极大的灵活性。30 MHz 带宽使它可以使用脉冲发生器等仪器。附加的 LED 显示屏和使用键盘或可选光笔进行操控的前面板,使操作人员可以非常灵活地进行操作。

  • 紧跟半导体参数分析仪性能的步伐
    的半导体参数分析仪已经达到新的性能水平。B2200A 开关矩阵能够支持 1 fA 测量分辨率,紧跟半导体参数分析仪性能的步伐,而不会损失任何测量性能。
  • 避免多路复用的测量限制
    避免花费很长时间手动切换 B2200A 的 14 条内部测量路径,因而延误测量进度。每路输入都有自己的内部路径,使您可以同时使用所有输入。
  • 准确的电容测量
    在测量电容时,电缆长度(包括矩阵中的路径)对测量结果有很大影响。通过使用针对电容测量优化过的两路 BNC 输入,B2200A 开关矩阵主机――与同类解决方案不同――可以校正因为矩阵内部路径长度而产生的误差,提供补偿参数以确保测量结果不失真。

特性和优势

特性 优势:
1 毫微微安(femtoamp)分辨率的电流测量能力 开关矩阵不会影响半导体参数分析仪的测量性能。
8 路三轴输入和 6 路 BNC 输入 支持 4 SMU Kelvin 配置和电容表,并留出 4 路 BNC 输入用于未来扩展;
14 条可同时使用的内部路径 使您能够同时使用全部 8 路三轴输入和全部 6 路 BNC 输入。
电容测量补偿特性 校正因为矩阵内部路径长度而产生的误差,使您可以通过开关矩阵准确测量电容。
LED 显示屏和可通过键盘或可选光笔进行操控的前面板 通过显示矩阵继电器状态以及支持手动更改继电器状态,使您能够对测量结构进行离线调试。
30 MHz 带宽 您可以通过 B2200A 开关使用脉冲发生器等仪器。

元器件

  • B2200A fA 级低泄漏开关主机
  • B2210A fA 级低泄漏开关模块

主要技术指标

B2200A
技术指标
端口数  
I-V 端口 8 个三轴端口(包括 Guard 端口)
AUX 端口 6 个 BNC 端口(2 个 CV 端口)
输出通道 可使用三轴端口(包括 Guard 端口)、x12、x24、x36 和 x48 配置
插槽数 4 个插槽,用于插入 48 毫米高的开关模块
B2210A
技术指标
额定电流  
I-V 端口 1.0 A
AUX 端口 0.5 A
额定电压  
I-V 端口(其他通道) 200V
I-V 端口(通用) 300V
AUX 端口(其他通道) 100V
AUX 端口(通用) 100V
通道隔离  
I-V 端口 1 x 10^14(欧姆)
AUX 端口 1 x 10^9(欧姆)
偏置电流(补充)  
IV 端口 50 fA
IM 噪声(RMS)(补充)  
I-V 端口 5 fA
其他电容测量误差(补充) < ± 1 % + 0.2 pF
带宽(--3 dB 时) 30 MHz
稳定时间(补充) 2.0 秒(50 fA 时)
 

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