介绍：

①　真空：2.0x10-8Pa；

②　材    质：316L不锈钢；

③　接口法兰：全部CF刀口法兰；

④　表面处理：除油电解抛光处理；

⑤　腔体尺寸：根据用户需求定制。

MBE分子束外延设备介绍：

分子束外延（MBE）是新发展起来的外延制膜方法，也是一种特殊的真空镀膜工艺。外延是一种制备单晶薄膜的新技术，它是在适当的衬底与合适的条件下，沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜的方法。

该技术的优点是：使用的衬底温度低，膜层生长速率慢，束流强度易于准确控制，膜层组分和掺杂浓度可随源的变化而迅速调整。用这种技术已能制备薄到几十个原子层的单晶薄膜，以及交替生长不同组分、不同掺杂的薄膜而形成的超薄层量子显微结构材料。