等离子体放电装置

等离子体放电装置

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-04-25 15:51:41
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北京科创鼎新真空技术有限公司

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产品简介

技术参数：1．抽气速率：主泵600L/s，机械泵4升/s

详细介绍

技术参数：

1．抽气速率：主泵600L/s，机械泵4升/s；

2．设计标准限值：5.0x10-5Pa；

3．使用真空度：≤5.0x10-2Pa；

4．冷却方式：自然冷却；

5．真空腔体：直径300mm，高度400mm，304不锈钢，顶部开门；

6．观察窗：正对方向200mm；

7．四路气体接口；

8．质量流量计：2台质量流量计，一台控制显示器，流量100ml/分钟；

9．六路真空航插接口。

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