MCY2005  压阻真空测量仪是单片微机控制的智能仪器，采用不同量程的压阻真空规管，用于测量101～0.01KPa。由于压阻规管输出电压是真空度的线性函数，因此在上述范围内，其测量精度和线性度很好，而且规管结构牢靠，使用**长，是比较理想的粗低真空测量仪器。特别值得一提的是这种规管还可以作为压力传感器使用，对于需要真空度、压力连续测量的场合极为适用。

1 . 主要技术指标：

1.1  测量范围：                 101～0.01KPa

                                               100～0.1KPa ±5‰±1字(满度误差)

1.2  配用规管：                 YZG-15A压阻规管

1.3  电源电压：                 交流220V   50Hz

1.4  使用环境：                 5 - 30℃   湿度 < 80%

1.5  外形尺寸：                96×96×140mm

          开孔尺寸：        92×92mm2

2.工作原理和使用方法 ：

2.1  工作原理：

压阻真空规管是利用单晶硅的压阻效应制成的一种力敏器件。它以单晶硅为基体，按特定晶面，根据不同的受力形式分别加工成弹性应变元件，在弹性应变元件的适当位置，用集成电路工艺技术扩散四个等值电阻，组成惠斯登电桥。当不受压力作用时，电桥处于平衡状态；当受到压力作用时，一对桥臂电阻变大，另一对变小，电桥失去平衡。若对电桥加一恒定电流(电压)，便输出对应于所加压力的电压信号，从而达到测量气体压力的目的。

由于这种传感器的感受、**和检测三部分同由一个元件实现，没有中间转换环节，所以不重复性和迟滞等误差极小。同时由于硅单晶本身刚度很大，形变很小，保证了良好的线性度，因此综合精度**。

本仪器配套的YZ、YZG系采用美国**的OEM管芯组装。YZ型压阻规管系普通型绝压管芯，YZG型压阻规管系带隔离膜封装的绝压管芯，用于有腐蚀性气体及要求比较高的场合。

本仪器提供了压阻真空规管工作所**须的恒流源，并接收规管送出的压力信号。所有的调零、调满度等均由软件完成，并且用软件对规管电流源的微小变化进行补偿，扩大了规管的测量范围。使用**方便。

仪器前面板如图一所示：

图1.仪器前面板示意图

图中：

1. 显示器：    用于显示真空度数值，恒流电流值，输出电压值。

2. 单位指示灯

3. 增量按钮

4. 移位按钮

5. 减量按钮

6. 确认按钮

2.2 仪器使用方法：

2.2.1 正常显示方式：

开启仪器后，仪器显示真空度。单位是KPa。按动移位按钮可改变真空度的单位，相应的单位指示灯亮。

按组合键1（按［ENT键］后放手，再按［减量键］），可使仪器显示输出电压值，单位为mV。再按一次这组键，可以使仪器显示规管恒流电流值。第三次按这组键则返回真空度。

2.2.2 设置控制触点动作真空度的方法：

按组合键2（按［ENT键］后放手，再按［增量键］），显示器左端显示“1”，表示此后将显示控制触点1的动作真空度。数秒钟后，显示器显示原先设定的值。**高位作有规律的闪烁。如果显示的动作真空度数量级不正确，则首先应调整数量级。连续按增量键数次，**高位由9进位时，设定的动作真空度数量级加一。重复这一过程，数量级不断增加，直到100kPa.

按减量键数次，当**高位由1退位时，设定的动作真空度数量级减一，重复这一过程，数量级不断减少，直到0.1Pa数量级。

数量级调整完毕后，**整设定的动作真空度的各位。显示器上不断闪烁的这一位可以改变。按动增量键可执行加一操作，按动减量键可执行减一操作。按动移位键可以使下一位闪烁。修改完毕后**要按ENT键一次，把它送入仪器内部保存。

按ENT键后，设定的控制触点1的动作真空度将保存在仪器内部。

这时显示器左端显示“2”，表示此后将显示控制触点2的动作真空度。可以按照调整控制触点1的动作真空度的方法进行调整。

2.2.3 校准规管高真空时的零点的方法：

仪器初次使用或**换新规管或当规管封接于高真空环境时，仪器显示不为零，或者仪器的显示发生闪烁，说明仪器需要校零。

当规管封接于高真空环境时，若真空度优于1Pa,可以校准规管的零点。方法是：开机稳定半小时后，按组合键3（按［ENT键］后放手，再按［移位键］后放手）三次。仪器显示“CAL0”。等待数秒后，“CAL0”开始闪烁，此时按下“ENT”键，仪器自动校准零点。如不需校准零点或错误进入了校零模式，操作者可不用按**键，“CAL0”闪烁数秒后，会自动回到测量显示模式。

2.2.4 校准规管满度的方法：

一般不需校准仪器的满度。仪器初次使用或仪器偏离满度过多或**换新规管后，可校准仪器满度。当系统暴露**时（对于YZ—2、YZG—2压阻规管），或者规管处于35Kpa 的真空度中（对于YZ—3、YZG—3压阻规管），确认规管联接无误。开机稳定半小时后，按组合键3（按［ENT键］后放手，再按［移位键］后放手）三次，仪器进入校零模式。在仪器显示闪烁以前，按下除“ENT”键以外的任一键，仪器显示“FILL”，几秒后仪器进入设定满度状态。根据所处地区**压，手工设定，操作方法同2.2.2。设定完后，按下“ENT”键。仪器完成满度校准。显示为101kPa，或者35KPa。**须注意，对仪器设定和校准满度时，**须确认规管处于该规管的满度压强下，否则将严重影响仪器的测量精度。

3. 仪器电源及规管联接

仪器电缆与机箱联接采用接线柱联接。仪器后面板接线柱排列如图2所示：

图2. 仪器后面板示意图

图中：

25（L）：                               接电源相线

24（N）：                              接电源零线

23（GND）：                              接电源地线

CX164FG：                           压阻规管插座

22～17：                                   J1、J2继电器输出端

4.规管联接要求：

一般情况下，规管应垂直或水平安装。安装后一般不要转动或变动规管位置。

5. 维护、储存和运输

5.1 本设备在使用过程中**须正确操作和维护，并防止灰尘与潮气侵入。

5.2 在长期使用后应作内部检查，**内部所积尘污。

5.3 设备应存放在环境温度为+10～35 ℃，相对湿度<80%和无腐蚀性气体及油蒸汽， 强烈电磁场与机械振动，并具有良好通风的室内。

5.4 运输时设备应装在具有防潮袋的牢固运输箱内，包装好的设备与箱壁间应放有清洁干燥的防振物，运输箱外应标有"向上"，"小心轻放"等标记。