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MCY2012压阻真空测量仪是单片微机控制的智能仪器,采用不同量程的压阻真空规管,用于测量101~0.01KPa,或者35~0.01KPa之间的真空度。由于压阻规管输出电压是真空度的线性函数,因此在上述范围内,其测量精度和线性度很好,而且规管结构牢靠,使用**长,是比较理想的粗低真空测量仪器。特别值得一提的是这种规管还可以作为压力传感器使用,对于需要真空度、压力连续测量的场合极为适用。
1 . 主要技术指标:
1.1 测量范围: 101~0.01KPa ±5‰±1字(满度误差)
1.2 配用规管: 154N-015A压阻规管
1.3 电源电压: DC24V
1.4 使用环境: 5~30℃ 湿度 < 80%
1.5 外形尺寸: 96×48×112mm3
1.6 开孔尺寸: 92×43mm2
2.工作原理和使用方法 :
2.1 工作原理:
压阻真空规管是利用单晶硅的压阻效应制成的一种力敏器件。它以单晶硅为基体,按特定晶面,根据不同的受力形式分别加工成弹性应变元件,在弹性应变元件的适当位置,用集成电路工艺技术扩散四个等值电阻,组成惠斯登电桥。当不受压力作用时,电桥处于平衡状态;当受到压力作用时,一对桥臂电阻变大,另一对变小,电桥失去平衡。若对电桥加一恒定电流(电压),便输出对应于所加压力的电压信号,从而达到测量气体压力的目的。
由于这种传感器的感受、**和检测三部分同由一个元件实现,没有中间转换环节,所以不重复性和迟滞等误差极小。同时由于硅单晶本身刚度很大,形变很小,保证了良好的线性度,因此综合精度**。
本仪器配套的YZ、YZG系采用美国**的OEM管芯组装。YZ型压阻规管系普通型绝压管芯,YZG型压阻规管系带隔离膜封装的绝压管芯,用于有腐蚀性气体及要求比较高的场合。
本仪器提供了压阻真空规管工作所**须的恒流源,并接收规管送出的压力信号。所有的调零、调满度等均由软件完成,并且用软件对规管电流源的微小变化进行补偿,扩大了规管的测量范围。使用**方便。
仪器前面板如图一所示:
2.2 仪器使用方法:
2.2.1 正常显示方式:
开启仪器后,仪器显示真空度。单位是KPa。按动<>按钮可改变真空度的单位,相应的单位指示灯亮。
按ENT键一次,放松后马上按减量键一次(组合键1),可使仪器显示输出电压值,单位为mV。再按一次这组键,可以使仪器显示规管恒流电流值。第三次按这组键则返回真空度。
2.2.2 设置控制触点动作真空度的方法:
按动ENT键一次,马上按增量键(组合键2),显示器左端显示“1”,表示此后将显示控制触点1的动作真空度。数秒钟后,显示器显示原先设定的值。**高位作有规律的闪烁。如果显示的动作真空度数量级不正确,则首先应调整数量级。连续按增量键数次,**高位由9进位时,设定的动作真空度数量级加一。重复这一过程,数量级不断增加,直到900kPa.
按减量键数次,当**高位由1退位时,设定的动作真空度数量级减一,重复这一过程,数量级不断减少,直到0.1Pa数量级。
数量级调整完毕后,**整设定的动作真空度的各位。显示器上不断闪烁的这一位可以改变。按动增量键可执行加一操作,按动减量键可执行减一操作。按动移位键可以使下一位闪烁。修改完毕后**要按ENT键一次,把它送入仪器内部保存。
按ENT键后,设定的控制触点1的动作真空度将保存在仪器内部。
这时显示器左端显示“2”,表示此后将显示控制触点2的动作真空度。可以按照调整控制触点1的动作真空度的方法进行调整。
2.2.2 校准规管高真空时的零点的方法:
当规管封接于高真空环境时,仪器显示不为零,或者仪器的显示发生闪烁,说明仪器需要校零。
当规管封接于高真空环境时,若真空度优于1Pa,可以校准规管的零点。方法是:开机稳定半小时后,按下ENT键一次,松开后再按移位键一次(组合键3)。然后再按" 组合键3" 二次,仪器显示“CAL0”。等待数秒后,“CAL0”开始闪烁,此时按下“ENT”键,仪器自动校准零点。如不需校准零点或错误进入了校零模式,操作者可不用按**键,“CAL0”闪烁数秒后,会自动回到测量显示模式。
2.2.3 校准规管满度的方法:
一般不需校准仪器的满度。仪器偏离满度过多或**换新规管后,可校准仪器满度。当系统暴露**时(对于YZ—2、YZG—2压阻规管),或者规管处于35Kpa 的真空度中(对于YZ—3、YZG—3压阻规管),确认规管联接无误。开机稳定半小时后,可按下ENT键+移位键(组合键3)三次,仪器进入校零模式。在仪器显示闪烁以前,按下除“ENT”键外的任一键,仪器显示“FILL”,几秒后仪器进入设定满度状态。设定操作方法同2.2.2。设定完后,按下“ENT”键。仪器完成满度校准。显示为101kPa,或者35KPa。**须注意,对仪器设定和校准满度时,**须确认规管处于该规管的满度压强下,否则将严重影响仪器的测量精度。
3. 仪器电源及规管联接
仪器电缆与机箱联接采用接线柱联接。仪器后面板接线柱排列如图二所示: