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| 方式 | 倒悬方式 |
| 捕集硅晶片尺寸 | 8"或6"，5"以下需添加扩充环（12400型，12"） |
| O形环 | 封口部直径220mm（聚亚胺） |
| 石英加热炉 | 透明石英材质 |
| 加热炉加热方式 | 顶板・底板独立加热方式 |
| 加热炉使用温度 | 常用400℃（可达500℃） |
| 加热炉冷却 | 冷却水循环装置 |
| 保温管 | 内表面惰性化镀层处理 |
| 吹扫气 | 通常用氮气，使用流量500ml/min |
| 防过热装置 | 电流15A，感应电流30mA |
| 急停按钮 | 红色，蘑菇型 |
| 安全装置 | 联锁结构 |
| 加压方式 | 电机驱动 |
| 设备尺寸 | 1140(W)×1106(H)×750(D)mm |
| 重量 | 280Kg |
| 电源 | 单相AC200V、15A・AC100V、20A |
| 标准附件： | |
| PAT（一级吸附管）： | 2支（与其它公司捕集管不配套） |
| PAT架 | 1个（与其它公司捕集管不配套） |
| PAT适配器 | 1个（与其它公司捕集管配套使用） |
| O形环 | 2个 |
| 冷却水循环装置 | 1台（附标准配管） |
| 保温管 | 1支 |
| 气体配管 | 1套（1/16"-1/8"） |
| 缆线 | 1套 |
| 工具 | 1套 |
| 操作说明书 | 1册 |
