扫描型X射线荧光光谱仪从仪器的硬件与软件在许多细节都进行了改进，使得仪器的可靠性与可操作性更进一步提高，增加了在行业内优先自主研发创造的250μm微区分布成像分析功能，从而达到更高的水平的完善程度。

· 在波长色散型装置中，250μm微区分布成像分析功能，可分析不均匀样品的含量分布、强度分布。

· 利用高次谱线进行准确的定性/定量分析 高次谱线的判定更加准确，提高了定性定量分析的准确度/可靠性。

· 测定高分子薄膜的膜厚与无机成分分析的背景基本参数(BG-FP)法。利用康普顿散射/瑞利散射的强度比计算出荧光X射线分析不能得到的氢（H）元 素的信息。高分子薄膜分析中，利用康普顿散射线的理论强度作为高分子薄膜 的信息。

· 微区分析结构：独自开发的特殊形状的滑动式视野限制光栏，利用r方向滑动与样品旋转控制的q转动，可以在30mm直径内的任意位置进行分析。

· 利用CCD相机可以直接观察样品，在测定室导入样品的位置上，将样品容器按照与测定位置相同的方式放置，通过CCD摄取样品的图像，可使测定位置与图像相吻合。

· 集成模块功能,匹配分析功能，对应于液体、粉末、固体、金属、氧化物等不同形态的样品具有相应的分析条件，在这基础上可编制更佳的分析条件。可根据不同材质。判定、品种分类、品种判定、一致性检索这4种匹配功能进行判定、检索。