系统参数:

◆原理: 非接触、三维白光扫描干涉仪

◆扫描装置: 闭环反馈压电陶瓷，高线性电容传感器,

◆视场放大倍率：高质量分立放大倍率镜头：0.5×,0.75倍率: ×,1.0×,1.5×,2.0×

◆成像放大: 电动3 位系统成像放大

◆视场:0.03-14mm，跟物镜和放大倍率有关,运用图像拼接技术可以得到更大范围

◆光源: 均匀成像，高效率，特殊设计长寿命白光LED物镜座标配:可快速装卸单物镜夹具

◆控制 :滤光板托架，视场光阑（辅助聚焦）

◆测量阵列:标配640×480 像素；640×480，320×240，160×120 像素,可选更高分辨率992×999

◆样件观察: 专用液晶显示屏实时观察

◆精密聚焦 :电控手动和自动聚焦

◆Z 轴驱动:直流无刷微步进电机驱动，200mm 行程,0.1μm 精度

◆尺寸:157×132×89cm ，NewView：81×58×41cm ，防振台：76X61X61,工作台：85X132X89cm 

◆重量 :系统重量：约430Kg

◆输入电压: 100-240VAC,50/60 Hz

◆计算机: 带液晶显示器的高性能DELL 计算机

◆软件:ZYGO MetroPro 软件

◆物镜座: 可快速装卸单物镜夹具 ,选件:手动6 位塔台；电控 6 位塔台；

◆样品台:手动,俯仰(±6°)和XY 平移(±50mm),电动,俯仰(±4°)和XY 平移(±76mm)电动, 俯仰( ± 4 ° )X-Theta (orY-Theta）和XY 平移(±76mm) 三种可选

◆纵向扫描:150μm，拓展扫描模式可到20mm,

◆纵向分辨率 ＜0.1nm,横向分辨率 0.36～9.5μm，与所选物镜有关,

◆扫描速度 ≤135μm/sec,与所选的CCD 和扫描模式有关

◆大数据点: 标准307200；可选984064；

◆RMS 重复性 ＜0.01 nm， RMSσ

◆台阶测量 :准确度 ≤ 0.75% ;重复性≤ 0.1% @ 1σ

◆测样品特性:各种材料的表面：透明，不透明，镀膜,非镀膜，反射，弱反射

◆大尺寸: 89×203×203mm(高×宽×长);反射率: 1-99%