B.主要技术指标：

1、测量原理：垂直方向：触针法，电感传感器；
水平方向：直线光栅；
2、驱动箱水平滑行范围：100mm；
3、驱动箱滑行速度：0.1,0.2,0.5,0.8,1mm/s；
4、传感器返回形式：手动，自动；
5、基准导轨的直线性：1μm/100mm；
6、驱动箱升降：滚动丝杠升降系统，机动升降，自动对准零位；
7、立柱垂直测量高度：260mm；
8、工作台结构：460mm×720mm大理石平台；
9、形状测量系统：
1) 测量范围：垂直20mm，水平100mm；
2) 测量精度：垂直±0.2%，水平±0.004%；
3) 垂直分辨力：0.06μm/4mm，0.3μm/20mm；
4) 水平分辨力：1μm ；
5) 测量参数：垂直距离，水平距离，两直线夹角，圆弧半径，圆心-直线距离、圆心-圆心距离、直线度、圆度等形位公差参数；
6) 圆形放大倍率：10000倍无级连续放大；
7) 传感器测杆长：230mm；
8) 测针长度：22mm；
9) 针尖角度：11°；
10) 针尖半径：25μm；
11) 测力：0.02-0.06N；
12) 传感器滑行角度：上升角≤77°，下降角≤88°；
10、微观轮廓测量系统
1) 测量范围：垂直400μm，水平100mm；
2) 表面粗糙度示值误差：≤±5%；
3) 最小分辨力：垂直0.6nm，水平1μm；
4) 取样长度：0.08，0.25，0.8，2.5，8mm；
5) 评定长度：N×k倍取样长度，N=1，2，3，4，5；N为行程长度内任意整数倍；
6) 粗糙度测量参数：Ra，Rc，Rp，Rv，Rz，Rq，Rsm，Rt，Rsk，Rku，Rdq，Rmr；
7) 波纹度测量参数：Wa，Wc，Wp，Wv，Wz，Wq，Wsm，Wt，Wsk，Wku，Wdq，Wmr；
8) 原始轮廓测量参数：Pa，Pc，Pp，Pv，Pz，Pq，Psm，Pt，Psk，Pku，Pdq，Pmr；
9) 微观轮廓测量参数：│X2-X1│，│Y2-Y1│；
10) 图像分析功能：支承率曲线、幅度分布曲线、轮廓峰密度等。
11) 轮廓图形垂直放大倍率：100000倍无级连续放大；
12) 轮廓图形水平放大倍率：50000倍无级连续放大；
13）传感器测针：金刚石棱锥，锥角90°，针尖半径2μm;

C.仪器的组成：

1、基本配置：
●立柱
●驱动箱
●电箱
●微机、打印机
●粗糙度传感器（标准、刚性）
●形状传感器
●V型工作台
●调斜工作台
●平口钳
●校对样块
●高度校准器具

2、可选附件（价格另议）
●粗糙度圆弧传感器
●粗糙度深槽传感器
●粗糙度小孔传感器
●万向工作台
●可根据用户要求设计专用形状测针和粗糙度传感器
●多功能V型块
●轮廓仪专用底台
●角度校准器具
●标准球校准器具