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设备名称 | 催化再生式氩气纯化器 | |
设备型号 | CZA-4N | |
处理量 | ≤4Nm3/h | |
原气 要求 | 纯度 | 氩气纯度≥99.99% |
杂质含量 | O2<1000ppm;H2O<1000ppm;N2<200ppm | |
输出 纯气 | 纯度 | >99.9999% |
杂质含量 | O2≤0.5ppm; H2O≤1ppm(即露点≤-76℃); N2≤1ppm CO+CO2≤0.1ppm; 尘埃粒子数(≥0.3um)3~5个/升 | |
工作压力 | ≤1.0Mpa | |
电 源 | 220V/50Hz/10A 2.4Kw | |
设备外形尺寸 | 470mm×660mm×1220mm | |
设备重量 | 150Kg | |
备 注 | 此纯化器可以除去氩气中的氮、氧、水等杂质。 |