高分辨率扫描探针显微镜

扫描探针声显微镜(SPAM)是开展原位、实时、纳米尺度上材料表面和亚表面的力学性质和结构无损检测和成像的新技术，对促进纳米科学和技术的发展有重要意义。在初步实验发现的基础上，进一步开展高分辨率的扫描探针声显微镜的低频成像理论、实验和技术的研究，理解低频工作模式下SPAM的信号激发机理，掌握提高SPAM像分辨率的技术，开发与商品扫描探针显微镜可兼容的声信号激发和检测系统，形成有自主知识产权的新的高分辨率扫描探针声显微镜工作模式。

SPM-8000FM

-FM（频率调制）

·悬臂定位检测噪声减少95%

·大气·液体环境中实现真空型SPM性能水平·Z-X断面观察

·专用软件实现三维制图测定及分析

.FHR-SPM是采用频率检测方式（ Frequency Modulation ) ，可在大气

·溶液环境下分析薄膜、结晶、半导体、有机材料等样品，获得与真空环境中同样高分辨率表面观察图像的产品。

在固体和液体的临界面（固液界面）进行水化、溶剂化的观察，因此也可作为固液界面结构的测量分析仪器。