仪器名称：X 射线衍射系统

品牌:  布鲁克

型号：D8 DISCOVER

产地：德国

仪器介绍：

1. 采用创造性的达芬奇设计，配备了集成化的DIFFRAC.SUITETM软件，附件自动识别、即插即用以及*集成化的二维XRD2功能。

2. 高分辨XRD(HRXRD)，外延多层膜厚度，晶胞参数，应变及弛豫过程。

3.X射线反射率(XRR)，薄膜厚度，组份，粗糙度，密度。

4.倒易空间图谱(RSM)，晶胞参数，晶格错配，组份，横向结构。

5.面内掠入射衍射(in-plane GID)，掠入射小角X射线散射(GISAXS)，晶胞参数，晶格错配，物相组成，孔隙度。

6.应力和织构分析，取向分布，取向定量，硬度。

7.物相鉴定(PhaseID)，物相组成，晶格对称性，晶粒大小。