A.用途及特点：

◆该仪器是一款高精度的综合测量仪器，包括表面形貌测量系统和表面轮廓测量系统。广泛适用于机械加工行业对工件的表面轮廓进行测量。既可以测量工件的距离、角度、圆弧半径、以及点、线、圆弧等几何要素的相互位置等形位参数，又可以测量表面粗糙度、波纹度、原始轮廓参数。

◆该仪器采用电感式粗糙度传感器和光栅式形状传感器，测量精度高、适用范围广、性能优良、操作简便。是生产车间和计量部门对零件形状误差和表面微观轮廓进行高精度检测的有效手段。

◆驱动箱采用高精度的直线导轨和进口光栅传感器，为高精度轮廓测量提供了的水平基准。驱动箱可机动升降，传感器可自动对准零位，方便测量。

◆软件界面友好，测量评定功能强大，与现行标准相符，数据和图像处理方便，测试报告简单明了，清晰美观。

B.主要技术指标：

测量原理：

垂直方向：触针法，电感式粗糙度传感器、光栅式形状传感器；

水平方向：光栅传感器；

驱动箱水平测量范围：120mm；

驱动箱滑行速度：0.2，0.5，0.8，1.0 mm/s；

返回速度：1.5mm/s；

驱动箱返回形式：手动、自动

驱动箱升降：滚动丝杠升降系统，机动升降，自动对准零位；

立柱垂直测量高度：280 mm；

工作台结构：460×720 mm大理石平台；

轮廓测量系统：

测量范围：垂直40mm，水平120mm；

测量精度：垂直±(2+|H|/5000)μm，水平4μm/100mm；

垂直分辨力：0.05μm；

水平分辨力：1μm；

测量参数：垂直距离、水平距离、两直线夹角、圆弧半径、圆心－直线距离、圆心－圆心距离、直线度、圆轮廓度等形位公差参数；

图形放大倍率：无级连续放大；可至最小800倍，80000倍；

传感器测杆长：220 mm；

测针长度：33 mm；

针尖角度：11°；

针尖半径：20μm；

测力：0.02～0.06N；

传感器滑行角度：上升角≤77°，下降角≤88°。

粗糙度测量系统：

测量范围：垂直400μm（可扩展至1200μm），水平120mm；

表面粗糙度示值误差：≤±5%；

最小分辨力：垂直0.6nm，水平1μm；

取样长度：0.08，0.25，0.8，2.5，8mm；

评定长度：N×k倍取样长度，k＝1，2，3，4，5；N为行程长度内任意整数倍。

粗糙度测量参数：Ra，Rc，Rp，Rv，Rz，Rq，Rsm，Rt，Rsk，Rku，Rdq，Rmr；

波纹度测量参数：Wa，Wc，Wp，Wv，Wz，Wq，Wsm，Wt，Wsk，Wku，Wdq，Wmr；

原始轮廓测量参数：Pa，Pc，Pp，Pv，Pz，Pq，Psm，Pt，Psk，Pku，Pdq，Pmr；

微观轮廓测量参数：｜X2-X1|，｜Z2-Z1|；

图像分析功能：支承率曲线、幅度分布曲线、轮廓峰密度等；

轮廓图形垂直放大倍率：500000倍无级连续放大；

轮廓图形水平放大倍率：50000倍无级连续放大；

传感器测针：金刚石棱锥，锥角90°，针尖半径：2μm。

仪器出厂精度指标：

Ra值示值误差：不大于±5%

Ra值测量重复性：不大于3%

Rsm值示值误差：不大于±5%

虚假信号：有导头传感器虚假信号的Ra值不大于0.005μm

无导头传感器虚假信号的Ra值不大于0.025μm

测针垂直位移的线性误差：不大于±(2+|H|/5000)μm，H——测针垂直位移值。

角度测量误差：不大于±5′

圆弧半径测量误差：不大于±（10+0.3‰×R）μm，R——检验用标准球标称半径。

D.仪器外形尺寸与重量：

仪器净重：260kg；仪器毛重：360kg；

仪器外型尺寸：1610mm×500mm×740mm

包装外形尺寸：1590mm×1150mm×1065mm