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低脉动
通过激光位移传感器和接近开关不断监控波纹管的位置。泵本身无需任何附加设备即可减少脉动,因为控制器确定了通过电磁阀左右移动波纹管所需的适当相移量。
减少传感器
不需要外部传感器,因为波纹管的泵相位控制*取决于设计中包含的激光和接近传感器的信号。
高压力
的波纹管运动增加了持续的压力承受能力,在频繁的负载变化下,尤其是在单晶片加工中,可保持稳定的排放能力和压力。
安全设计
焊接的波纹管结构可防止液体泄漏。即使波纹管损坏,内置的泄漏传感器也会检测并提供反馈,以确保安全操作。