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氦质谱检漏仪工作原理
利用真空排气引起的内外压差,通过感应到的流入工件或从工件流出的氦气来检测泄漏量。
使用氦气作为检漏介质原因：
气体本身无害，且没有危险
分子小，易从泄漏部位进入
空气中的含量仅为约5 ppm，因此检测错误的可能性极低（空气中含量约0.007%）
氦质谱检漏仪检测方法
真空喷氦法（喷雾法）
将被测工件内部抽真空，从外部喷射氦气，检 测从泄漏点进入的氦气
用于焊接管道、柔性管、密封接头等的泄漏试验
真空氦罩法
将待测工件放入充满氦气的塑料袋后抽真空，检测从泄漏点进入的氦气
用于质量流量控制器等的泄漏试验
真空容器法（真空钟罩法）
将已充满氦气的工件放入真空钟罩容器或真空容器内，抽真空后。
用于灭火器、安全气囊等的泄漏试验
沉浸法（钢瓶法）
先用钢瓶装置将压入氦气被测的工件放入真空容器内，检测出因真空差压而流出的氦气。
用于气密小型量产零部件的泄漏试验
吸入法（吸枪法））
因强度或其他原因无法做真空排气的工件，可以对工件内部加压，压入氦气（或者氦气与其他气体的混合气体），用探针吸入从泄漏点流出的氦气来进行检测。
用于压缩机、热交换器、冷凝器等的泄漏试验。
并列的泄漏试验
通常用于单容检漏仪无法进行真空排气的容积较大的腔体、大型真空设备的泄漏检测。使用这种测试方法需要安装干泵、涡轮分子泵等真空泵机组。
用于真空蒸镀装置、吸收式冷冻机、真空炉等的维护。
氦质谱检漏仪采用270度偏转方式分析管
分析管偏向角(90°､180°､270°)的不同决定了本底恢复的性能，同时实现高灵敏、高精度的检测。
本底高速恢复，的背景恢复性能
本氦质谱检漏仪采用的分析管270度偏转方式，能分离、去除干扰源，不受氦以外气体的影响，即使吸入了大量氦，本底也能快速恢复。
模拟制造10-5Pa·m3/s命令的泄漏，喷氦五分钟测定直至1X10-11Pa·ｍ3/s的本底为止，需要花多长时间恢复？测试结果为: 0分56秒
测试端口氦排气速度3L/s（50 Pa以下），实现高速测定时间稳定性
氦排气速度较高，有助于本低的快速稳定及快速感应
在生产线中有助于缩短节拍时间
搭载非接触型构造的干式真空泵
搭载无油/无尘/三年免维护的泵
微尘耐性高、本体小，无尘室
无需更换油旋转真空泵的油，可防止漏油和排气烟雾应
