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规格表 | |||||||
| 模型 | gf100 | gf120 | GF125 | ||||
| 流速 | 3 sccm F. S ~ 50 slm N2 当量 | ||||||
| 准确性 | ±1%RS (35-FS) ±0.35%FS (2-35%FS) | ||||||
| 重复性和再现性 | <±0.15%读数 | ||||||
| 环境温度范围 | 10-50℃ | ||||||
| 响应能力 | 1s以下 | 300 至 700 毫秒或更短 | |||||
| 外部泄漏率 | 1×10 -12 Pa·m 3 /s（He）以下 | ||||||
| 表面粗糙度 | 0.25 微米 | 0.1µm镭 | |||||
| 输入/输出 | 0-5Vdc/RS485/DeviceNet ™ | ||||||
| 多层 | 选项 | 一致 | |||||
| 公共交通运输工具 | 不兼容 | 不兼容 | 一致 | ||||
