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OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉，其工作温度可以达到1000℃。炉管Φ130mm的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰，可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统，可设置30段升降温程序，控温精度为+/- 1℃。此款管式炉最多可对4英寸的晶片进行退火。
| 技术参数 | |
|---|---|
| 炉体结构 | ● 双层壳体结构 ● 采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料，并且表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率，保证温度均匀性 ● 此款管式炉也可做为立式炉使用（点击图片查看详细资料）   |
| 功率 | 3KW |
| 电压 | 220VAC 50/60Hz |
| 工作温度 | 1000℃（<1小时）> |
| 连续工作温度 | 900℃ |
| 加热速率 | 20℃/min |
| 加热区 | ● 加热区长度：300mm ● 恒温区长度： ● 100 mm (+/-1ºC ) ● 140 mm (+/-2ºC ) |
| 温控系统 | ● 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序 ● 带有超温和断偶保护 ● 可选购MTS02-B控温模块，可用电脑设置和显示温度程序   |
| 欧陆仪表（可选） | 可选购欧陆3504温控仪表，可与LABVIEW软件比配  |
| 控温精度 | +/- 1°C |
| 炉管 | ● 石英管，尺寸：130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL ● 配有2个氧化铝管堵，使用设备时应放在炉管两端，保证恒温区和法兰密封性 ● 可选购石英管堵，提高炉管内的洁净度和帮助获得高真空      |
| 真空密封法兰 | ● 配有一对不锈钢密封法兰，采用硅胶密封圈密封 ● 右端法兰为KF25接口，用于连接真空泵 ● 左端法兰上安装有机械压力表，接口为1/4英寸卡套接头，用于连接气瓶 ● 真空度：10-2torr (采用机械泵) ● 可选：5英寸的水冷铰链法兰，并带有支撑架 ● 水冷法兰通入冷却水后，设备温度可以达到1100℃（<1小时）>   |
| 真空压力表 | ● 安装有一机械压力表，测量范围为-0.1～0.15MPa ● 可选购数显防腐真空计当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类不同而进行系数转换，测量范围为3.8x10-5 -1125 Torr   |
| 铠装热电偶（可选） | ● 可选购铠装K型热电偶，通过法兰的铠装孔伸入到炉管内部，测量样品的实际温度 ● 可选购一个法兰支撑架，防止炉管转动      |
| 净重 | 48 Kg |
| 质保期 | 一年质保期，终生维护（不包含炉管，密封圈和加热元件） |
| 质量认证 | ● 认证 ● 所有电器元件（>24V）都通过 UL / MET / CSA 认证 ● 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证 |
| 应用注意事项 | ● 炉管内气压不可高于0.02MPa ● 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ● 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 ● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ● 石英管的长时间使用温度＜1100℃ ● 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等） |
