输入电源：220VAC 50/60Hz

溅射电流：0-150 mA可调

功率：＜2KW

输出电压：1600VDC

采用石英腔体，尺寸：166mm OD x 150mm ID x 290mm H

密封：采用O形密封圈密封

2英寸带水冷的磁控溅射头（注意：水冷机不是标配）另有1英寸靶头可选（图一）

一个直径50mm不锈钢样品台，样品台可旋转，转速可调 （图五）

安装有一可手动操作的溅射挡板（图二、三）

样品台和靶头之间的距离可以调节，调节范围：30-80mm（图二、三）

靶头支架，可以在非溅射状态放置溅射靶头（图四）

                       实验效果

6" PLC集成触摸屏控制面板，可控制真空、电流、靶材位置和基片加热温度

安装有KF25真空接口

数字真空压力表（Pa）

此系统运行需要Ar气，并且气瓶上安装有减压阀（设备中不包含）

采用机械泵<1.0e-2>

采用涡旋分子泵<1.0e-5>

可在本公司选购各种真空泵

含一个控制进气的针阀和一个放气阀

本设备接气需要安装减压阀（可在我公司选购减压阀）

靶材尺寸要求：Φ50mmx(0.1-2.5) mm(厚度)

适合溅射Au,Ag,Cu,Al,Ti,等金属（可在我公司选购）

可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上（见图一）

可选加热样品台，可加热500℃（见图二、三）

可选浮子流量计来精确控制进气量（见图四）

L460 mm × W 330 mm × H 520 mm

净重：20 kg（不包含泵及水冷机）

认证

一年保修，终身技术支持

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

点击查看售后服务承诺书。

对于溅射各种金属靶材，需要摸索的溅射参数，下表是本公司实验所设置的参数（参考值，详情请点击）

有时为了达到理想的薄膜厚度，需要多次溅射镀膜

在溅射镀膜前，确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净

要达到薄膜与基底良好结合，请在溅射前清洁基材表面

超声波清洗（详细参数点击下面图片）：（1）丙酮超声（2）异丙醇超声-去除油脂（3）吹氮气干燥（4）真空烘箱除去水分

等离子清洗（详细参数点击下面图片）：可表面粗糙化，可激活表面化学键，可祛除额外的污染物

制造一个薄的缓冲层（5纳米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以应用于改善金属和合金的附着力

此溅射镀膜机可以放入Ar或N2气体手套箱中溅射

注意：产品内部安装有高压元件，禁止私自拆装，带电移动机体。

气瓶上应安装减压阀（设备标配不包括），保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。

溅射头连接到高电压。为了安全，操作者必须在关闭设备前装样和更换靶