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行程: 25mm
滤波器: 高斯(Gaussian)滤波器（ISO11562:1996）Rc滤波器
截止波长: 0.25，0.8，2.5
测量重复性: 4%
相对示值误差: ±7%
测量长度: λc ╳3、4、5、6、7
测量范围: 640μm
分辨率 ： 0.001μm
测量速度： 0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s
返回速度： 1mm/s（自动）
测量方式：传感器移动式
Ra、Rz、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、RS、RSm、RSk、Rk 、Wp、Wv
