质量流量控制器 SFC5300 质量流量计

质量流量控制器 SFC5300 质量流量计

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2023-02-22 09:14:30
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质量流量控制器SFC5300优化了成本,尺寸紧凑的控制器(可大批量生产)SFC5300质量流量控制器以优异的精度、长期稳定性和可重复性测量和控制质量流量

详细介绍

质量流量控制器 SFC5300

优化了成本,尺寸紧凑的控制器(可大批量生产)

SFC5300质量流量控制器以优异的精度、长期稳定性和可重复性测量和控制质量流量。它拥有紧凑的尺寸和出色的动态测量范围。SFC5300的外壳由金属制成。SFC5300质量流量控制器向下安装连接,有两个数字接口。SFC5300是SFC5400质量流量控制器变形版,适用成本敏感的大批量OEM项目。

与所有Sensirion传感器一样,SFC5300质量流量计的突出表现依赖创新的CMOSens® 技术,在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感器技术与电子处理电路。配合优质材料,SFC5300可实现持久稳定、快速和高度精确的流量测量。

SFC5300质量流量控制器也提供无阀版本SFM5300。SFC5300和SFM5300具有相同性能特性,可理想地组合在类似应用当中。在SFM5300网站,您可以找到关于质量流量计的更多信息和详细规格。

对于大批量的项目,我们可根据您的具体要求调整或开发您需要的质量流量控制器。了解更多关于定制解决方案信息。


性能参数

  • 超低流量测量时的高精度(< 1sccm)
  • 出色的长期稳定性和可靠性
  • 无老化效应
  • 宽动态范围(量程比1000:1)
  • 多气体配置
  • 于CMOSens®技术的*性价比
  • 尺寸紧凑

应用

  • 分析仪器 (如气相色谱、质谱、热分析)
  • 科研 (如、)
  • 工业过程自动化 (如涂覆、热处理)
  • 半导体行业 (如等离子蚀刻工艺、薄膜沉积)

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