质量流量控制器 SFC5400 质量流量计

质量流量控制器 SFC5400 质量流量计

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2023-02-21 09:06:48
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产品简介

质量流量控制器SFC5400针对多种应用的多功能控制器SFC5400质量流量控制器以优异的精度、长期稳定性和可重复性测量和控制质量流量,覆盖宽动态测量范围

详细介绍

质量流量控制器 SFC5400

针对多种应用的多功能控制器

SFC5400质量流量控制器以优异的精度、长期稳定性和可重复性测量和控制质量流量,覆盖宽动态测量范围。SFC5400可高度配置,其外壳由金属制成。此外,流量控制器可使用各种电气接口和各种流体连接件,测量50 sccm到200 slm的流量。传感器信号可在芯片上直接转换成99%校准和经温度补偿的数字信号。多气体校准可存储在单个器件上。此外,流量控制器还可检查激活的气体校准与实际气体是否匹配。SFC5400的通用性使之成为了工业和医疗应用的理想解决方案。

SFC5400质量流量控制器与所有传感器产品一样,依赖创新的CMOSens® 技术,在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感器元件及模拟和数字处理电路,可保证优异的性能。配合优质材料,SFC5400可实现持久稳定、快速和高度精确的流量控制。

SFC5400质量流量控制器也提供无阀版本。SFM5400质量流量计与质量流量控制器具有相同性能特性,可用在类似应用当中,SFC5400和SFM5400可组合在一起。在SFM5400网站,您可以找到关于质量流量控制器的更多信息和详细规格。

对于大批量的项目,我们可根据您的具体要求调整或开发您需要的质量流量控制器。了解更多关于定制解决方案信息。


性能参数

  • 超快速气体流量控制(稳定时间<100 ms)
  • 超低流量测量时的高精度(< 1sccm)
  • 出色的长期稳定性和可靠性
  • 无老化效应
  • 宽动态范围(量程比1000:1)
  • 多气体配置
  • 高配置
  • 源于CMOSens®技术的*性价比
  • 数字和模拟接口
  • 灵活机械连接选项:向下安装、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等。
  • 如有需要,可提供定制版本

应用

  • 分析仪器 (如气相色谱、质谱、热分析)
  • 科研 (如、)
  • 工业过程自动化 (如涂覆、热处理)
  • 半导体行业 (如等离子蚀刻工艺、薄膜沉积)

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