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深圳市天铉真空技术有限公司销售质量式气体流量计
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Aera创建于美国,是一家提供流体测量和控制产品及全套解决方案的跨国高科技企业,拥有研发及运营团队,掌握流体测量及控制技术,专注于高科技工业领域的广泛应用,包括半导体、新能源、 新材料,平板显示、数据存储、工业镀膜、食品及化工分析等。Aera 的产品包高性能的气体质量流量控制仪器及测量仪器,气体工艺整体解决方案和服务支持方案。Aera始终致力于为客户开发优化的解决方案及相关产品,客户包括但不限于原始设备制造商(OEM)和终端用户(END-USER)。
质量式气体流量计
性能:
快速的响应,响应时间<2秒.
精度≤1%FS 线性度小于等于0.5%FS 重复性≤0.2%FS
易于整合——标准连接器和尺寸
高度的可靠性和稳定性
特点:
耐腐蚀性,流量范围从10sccm-200slm
VCR® 及 Swagelok®共容性连接
橡胶密封
常关或常开的电磁控制阀
泄漏率1 x 10-7 atm-cc/sec of He