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高频输出：600W（YSP600U、YSP63FA）/2,000W（YSP2KU）
反应台尺寸：300×300mm（YSP600U）/600×600mm（YSP2KU）/385×362mm（YSP63FA）
YSP600U/2KU：样品传输系统为模块式，便于组合。
■ 用途
●提高各种材料的粘接性、表面改质处理
● 清洗各类基板。
● 电子部品、材料表面改质。
● 去除有机物和自然氧化膜。
■ 特征
● 体积小，节省空间。
● 选用小型腔体，反应效率高。
● 更容易嵌入生产线使用。
● 可通过操作面板自由切换等离子模式。
● 配备冷却反应台。
YSP63FA：可进行样品传输系统定制。
■ 特征
● 操作快捷方便：放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。
● 软性基板也可以进行传送操作。
● 传送速度可在Hi-Low间调节。
● 可通过网络进行远程操作（选购品）
■ 规格
型号 | YSP600U | YSP2KU | YSP63FA |
模式 | RIE（DP模式选购） | ||
高频输功率 | 600W | 2000W | 600W |
反应台尺寸 | W300×D300mm | W600×D600mm | W385×D362mm |
内腔尺寸 | - | - | W395×D378×H45mm（内尺寸） |
反应气体 | 2进气系统（氧气、氩气） | ||
反应气体流量控制 | 质量流量控制器 | ||
真空泵 | - | - | 旋转式真空泵（约500L/min） |
气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个、空气1个 | ||
