功能
- 基于四极的气体分析系统可监控复杂的过程。
- 支持 24/7 全天候监控,可限度地提高产量和吞吐量,从而大幅降低成本。
- 小巧灵活、经济实惠,适合安装到任何高压真空室。
- HexBlock™ 采样系统提高性能。
- 内置 CDG,支持过程压力监控和真空联锁。
- 可选校准基准(用于调节)和气体基准。
- 长寿命封闭式离子源可检测亚 ppm 量级的污染,同时耐的腐蚀性和活性气体。
- 轻便,易携带。
品牌
其他厂商性质
所在地
CPM Compact Process Monitor | |
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零件号 | 明细 |
911-451-P1 | Converter, USB to RS232 |
923-720-G1 | 1000 Torr CPM CDG,包括电缆 |
923-720-G2 | 100 Torr CPM CDG,包括电缆 |
923-720-G3 | 10 Torr CPM CDG,包括电缆 |
923-720-G4 | 1 Torr CPM CDG,包括电缆 |