INFICON MPH 残余气体分析仪 氦质谱检漏仪

INFICON MPH 残余气体分析仪 氦质谱检漏仪

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具体成交价以合同协议为准
2023-06-10 09:08:13
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武汉泰和丰顺光电有限公司

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产品简介

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详细介绍

功能

  • 模拟扫描和所选峰值的 1.8 ms 每点数据率
  • TCP/IP 以太网连接
  • 双丝极
  • 可现场更换电子倍增器
  • 组合阳极、阴极和反射极丝极套件
  • 较短的传感器可降低安装占地面积
  • 九个数量级的动态量程
  • <2E-15 Torr 的 MDPP(100 amu 型号)
  • 信噪比更高
  • 可调换传感器和电子元件
  • 传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
  • 符合 RoHS 标准

规格

类型MPH100FMPH100MMPH200FMPH200MMPH300FMPH300M
传感器长度14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm
质量范围100 amu 100 amu 200 amu 200 amu 300 amu 300 amu
检测器类型FC FC/EM FC FC/EM FC FC/EM
灵敏度 (FC)6E-4 A/Torr 6E-4 A/Torr 5E-4 A/Torr 5E-4 A/Torr 4E-4 A/Torr 4E-4 A/Torr
灵敏度 (EM)NA 500 A/Torr NA 500 A/Torr NA 250 A/Torr
最小可检测分压3E-13 Torr 2E-15 Torr 4E-13 Torr 3E-15 Torr 5E-13 Torr 4E-15 Torr
传感器工作温度(FC)200°C 200°C 200°C 200°C 200°C 200°C
传感器工作温度(EM)NA 150°C NA 150°C NA 150°C
丝极类型选件 (1)Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir
丝极类型选件 (2)Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten
分辨率(整个质量范围内)<1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3)
温度系数<1% of peak height/°C <1% of peak height/°C
INFICON MPH 残余气体分析仪     
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