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所在地
| 类型 | IC6 | |
|---|---|---|
| 测量性能 | ||
| 频率分辨率 | ±0.0035 Hz @ 6 MHz | |
| 厚度和速率分辨率/测量 (1) | ±0.00433 Å | |
| 测量频率范围 | 6.0 to 4.5 MHz (fixed) | |
| 厚度精度 (2) | 0.5% | |
| 测量周期 | 0.10 s | |
| 多个测量值平均 | 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed | |
| 设计功能 | ||
| Auto Z | yes | |
| 自动色调 | yes | |
| 共沉积 | yes (up to 6 sources) | |
| 过程配方和数据管理 | ||
| 材料计划 | 32 | |
| 过程层（每个过程） | 200 | |
| 过程 | 50 (processes can be linked together) | |
| USB 存储器 | yes | |
| 数据记录 | yes | |
| 硬件功能 | ||
| 传感器 (3) | ||
| 单 | 8 | |
| 双 / CrystalTwo® | 4 / 8 (with CrystalTwo® Switch) | |
| CrystalSix® | 8 | |
| Crystal 12® | 8 | |
| 通用 | 8 | |
| 来源控制 | ||
| 来源数量 (4) | up to 6 | |
| 来源控制电压 | 0 to +/-10 V, adjustable | |
| 输出分辨率 | 15 bits over full range (0 to 10V) | |
| 坩埚位置 | 64 | |
| 输入 / 输出 | ||
| 输入 | 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground | |
| 输出 | 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs | |
| 记录器输出 (4) | 0 to +10 V, adjustable | |
| 逻辑语句 | 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement | |
| 通信 | ||
| 标准 | RS232 | |
| 可选 | Ethernet | |
| 显示器 | ||
| 厚度分辨率 | 1 Å for 0 to 9.999 kÅ 10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ 100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ 1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ | |
| 速率分辨率 | 0.001 for 0 to 9.999 Å/s if rate filter time setting is 10 seconds or greater 0.01 for 0 to 99.99 Å/s 0.1 for 100 to 999.9 Å/s | |
| 操作 | ||
| 电源要求 | 100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz | |
| 工作温度 | 0 to 50 C (32 to 122 F) | |
| 尺寸，不包括安装件（高 x 宽 x 深） | 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm) | |
| 重量 | 23 lbs (10.5 kg) | |
(1) 工具/密度 = 100/1，基本频率 = 6 MHz
(2) 因流程而异；数值反映典型精确度
(3) 每种型号的配置
(4) IC6 有 6 个 DAC 输出标准，另有 6 种标准可选择性地添加。这 12 个标准中的任何一个都可作为源控制电压或记录器输出进行配置，但可同时控制的源的数量为 6
