ZCZH-IIISF6气体综合测试仪是集SF6湿度仪、SF6纯度仪、SF6分解产物仪与一体，将原来要用三台仪器才能实现的功能，集中在一台仪器。一次现场测量，即可完成三项指标检测，大大节省设备中的气体，一次测量节省2/3气体用量，同时减少用户的工作量，提高了工作效率。
ZCZH-IIISF6气体综合测试仪之所以有超越的性能，是因为全部采用了国外的传感器。湿度采用芬兰维萨拉的传感器；纯度采用带温度补偿的热导传感器；分解产物采用进口SF6专用的传感器。该仪器采用大液晶中文显示，实现显示各种参数，全程傻瓜式的操作，海量信息存储，内置充电电池，交直流两用。

>自动零点校准
>电子流量显示
>测量数据打印
>测量数据存储
>智能电量显示
>支持文件系统
>仪器自诊断功能
>图形菜单
>抗油污，防漂移

A、SF6湿度：
>测量范围：露点-80℃ ～ +20℃，（支持ppmv等）
>露点精度：±0.5℃（当露点温度低于0℃，传感器输出为霜点）
响应时间63％[90％] +20→-20℃ Td5s[45s] -20→-60℃ Td10s[240s]
>分辨率：露点0.1℃或0.1ppm 重复性：±0.5℃
>气体流量：SF6调节在0.5～0.9L/min 0.9l/min
>探头保护：不锈钢烧结过滤网
B、SF6纯度：
>测量范围：0 ～99.99% SF6;
>精度和重复性：：±0.05%,与流量无关；
>响应时间：90%，30s；
C、SF6分解产物：
>H2S：1 ～ 2000ppm
>SO2：1 ～ 1000ppm
>CO: 1 ～ 1000ppm
>HF: 0 ～ 10ppm(可选)
>精度：±0.5ppm
>显示方式：彩色5.7寸LCD显示屏；
>工作电压：220VAC±10%，50Hz,交直流两用，过充过放保护，
>工作压力：0～1.0MPa
>样气流速：无影响
>电子质量流量计
>操作环境：-30～+60℃
>尺寸：340×300×220mm
>重量：4.0kg