GFS真正的主质量流量标准
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北京长峰益达科技有限公司
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GFS? 提供了一种真正的主质量流量标准，并使得低气体质量流速的基本测量真正可行。
覆盖从 0.2 到 200 mg/s 的多种气体量程（10 sccm 到 10 slm N2）
支持的气体：无毒性的非腐蚀气体
流量测量不确定度低至 ±0.013% 读数
大出口压力：650 kPa 绝压
使用质量和时间测量的主要重量原则
可以实现自动化的无人管理操作
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