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混合热式气体质量流量控制器AC-M100C:AC模拟型和DC数字型的气体质量流量控制器也在等离子清洗设备中广泛使用,设备对气体质量流量控制器的稳定性和重复性要求*,产品耐压能达5Mpa,产品精度可达±1%F.S,重复性和线性精度稳定。
混合热式气体质量流量控制器AC-M100C:采用全新的进口传感技术以及高精度的机械加工技术,能实现微小流量测量和控制,其特点是可靠性高、重复性好,压损小,无可动部件,量程比宽,响应时间较快,测量精度高,无需要温度压力补偿,广泛应用于轻工化工环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。