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CO2热式气体质量流量控制器：在一般情况下，质量流量控制器和质量流量计的单位都是以sccm（毫升/分钟）和slm（升/分钟）表示；s代表stand，指标准状况下；cc指毫升；l指升，m代表minute，指分钟。
CO2热式气体质量流量控制器：而对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑也便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min或者g/h）,这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量其实就等同于质量流量。
