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工具显微镜STM-3020M系列特点：
▶ 载物台——高精度2.0+L/200um(L为测量长度）。
技术参数： 名称 工具显微镜 工具显微镜 型号 STM-2015M STM-3020M 货号# 532-180 532-190 X ,Y轴坐标行程 200x150mm 300x200mm 分辨率 0.1um 锁紧装置 X-Y采用精密丝杠传动，工作台带快慢速锁紧装置，无任何回程误差产生 X/Y轴精度 (2+L/200) μm; L: 测量长度 镜筒 反像 (可选正像三目镜筒) 目镜 双目广角目镜WF10X/22mm 物镜 标配:5X,10X, 20X, 50X ; 可选: 100X 透射光源 可调LED光源 表面光源 可调LED光源 Z-轴行程 标配行程:150mm, 可选200mm行程 调焦方式 手动调焦 (粗调/微调) 数显表功能 清零, 方向置换 仪器电源 AC220/50HZ; AC110V/60Hz 可选附件 高精度旋转工作台 RT4(D:165mm), RT5(262mm) 数据处理器DP300 测量软件 QM2.0 0.5X适配镜和CCD相机
光学参数：名称 物镜 目镜WF10/22 数值孔径
N.A. 有效工作距离
W.D.(mm) 焦距
f(mm)’ 分辨率
R(um) 景深
±△p(um) 总放大倍数 物方视场
（mm） 5x 0.15 11.6 40 2.1 16.3 50x ¢4.4 10x 0.3 6.3 20 0.9 3.1 100x ¢2.2 20x 0.4 10.3 10 0.69 1.8 200x ¢1.1 50x 0.8 2 4 0.34 0.4 500x ¢0.44 100x 0.8 1.96 2 0.34 0.2 100x ¢0.22
CCD芯片 晶源观察
POG观察
IC封装
