TKF超高纯金属微型气体过滤器METAL系列 隔膜阀
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广州朗拓仪器设备有限公司
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品 名：微型气体过滤器
品 牌: TKF
阀体材质：316L不锈钢
产品信息：
1、316 L不锈钢结构；
2、高温动态压力应用；
3、体积小，冲击或振动可靠性高；
4、宽范围流量从30到120 SLPM；
5、与高纯度半导体工艺气体的良好相容性；
6、3纳米颗粒过滤性能保持高效率和最小压降；
7、5ra电抛光表面防止内部污染；
8、DI水清洗后用热氮烘焙，达到半导体工艺标准；
9、100级制造、清洁及包装环境；
10、99%氦泄漏试验。
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