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安装在“三维可调探针座”底部的“磁力座”设置有控制开关,测量前先把样品置于样品台上,旋转“升降手柄”调节样品台高度到,打开任一“三维可调探针座”的“磁力座”开关,调节“三维可调探针座”的位置,使探针落在测试区域的大概位置上,然后合上磁力座开关,使“三维可调探针座”固定在“底板”上;透过显微镜目镜观察测量对象,对探针的位置进行微调,使探针针尖准确地落在测量对象上,然后进行测量。当完成测量后,转动“升降手柄”调节样品台向下降,使样品不与探针接触,取下样品。
测试架参数:
1、样品台面尺寸:Φ160mm;
2、测试架台面尺寸:长×宽=500mm×350mm;
3、三维可调探针座X、Y、Z三向可移动距离:15mm;
4、显微镜左右可移动距离:100mm;
5、测试台可加热,温度范围:常温-250度(200度可长时间保持)
本测试架可订做,可进行不同探针组合或不同测试距离的测量。