-
DynamYX® DATUM® 超高性能空气轴承平移台
DynamYX DATUM 具备市场上现有空气轴承平移台的性能。Datum 是 Newport 在材料、专有制造技术以及细致结构分析和设计方面不断进行投资而获得的成果。 加速度：3G X 轴，5G Y 轴 速度：1000mm/秒 重复精度：±25nm（长期） 精度：0.2μm（线性编码器） 固有频率：300 Hz 参考价面议 -
仪器架及铝型材加工
专业为客户提供实验室仪器架及铝型材加工服务。 参考价面议 -
SW系列晶圆对准/键合/解键合设备
SW系列晶圆对准/键合/解键合设备可应用于多个领域，包括MEMS、功率器件、图像传感器、封装（3D-TSV、WLP）和化合物半导体（LED、RF器件）等。 其中，SWA系列能够满足各类基底的键合对准需求，SWB系列可应用于有机胶键合、玻璃浆料键合、共晶键合，阳极键合等工艺，而SWDB系列满足解键合工艺需求。 参考价面议 -
复合式二维平台（Planar Platform）
平台特性 集成式5 轴平台，正交性设计 全局平面度、直线度达微米级 机械导轨与气浮导轨的复合应用 X/Y 轴 无线缆扰动力设计 高刚度内循环滚柱导轨，提供的双向重复精度 高性能气浮导轨，确保全行程优异的动态平面度 Z 轴 垂向磁悬浮重力补偿，可实现定位精度 高刚性、高精度导向设计 垂向增量光栅，可实现5 纳米分辨率 超薄型、轻量化设计 垂向可支持30mm 行程 Rz 轴 3...... 参考价面议 -
堆叠式多轴系统（Stacked System）
该系列产品包含堆叠式XYZ Stage、堆叠式XYZT Stage（Stacked XYZT Stage）、堆叠式XYZ3T Stage（Stacked XYZ3T Stage） 参考价面议 -
磁浮多轴运动台（Maglev Multi-axis Stage）
平台特性 集成式3 轴平台，正交性设计 全局平面度、直线度达微米级 X 轴 高刚度防蠕变交叉滚柱导轨 无线缆扰动力设计 Z 轴 垂向磁悬浮重力补偿，可实现定位精度 高刚性、高精度导向设计 垂向增量光栅，可实现5 纳米分辨率 超薄型、轻量化设计 垂向可支持30mm 行程 Rz 轴 360 旋转，无管路缠绕，支持12’、8’晶圆真空吸附 支持±0.7mm 翘曲晶圆 支持转速...... 参考价面议 -
多轴微动台（MZ3T Stage）
该系列产品包含：双Z 轴多轴微动台（Z3T-Dz Stage）、单Z 轴多轴微动台（Z3T-Sz Stage） 参考价面议 -
磁悬浮垂向与旋转台
该系列产品包含扁平ZT 台（MZT-10 Stage）、大行程ZT 台（MZT-25 Stage）、高性能ZT 台（MZT-24-CRG Stage） 参考价面议 -
平面式运动台（Planar-Series XY Stage）
该系列产品包含：平面集成式XY 台（Planar-Series XY Stage）、平面中空式XY 台（Planar-Series XY Stage） 参考价面议 -
二维精密转台（Gimbal Stage）
平台特性 两轴360°无限制旋转万向节系统 高动态响应、非接触力矩电机驱动 高刚度、高精度交叉滚子轴承设计 内置长寿命的导电滑环 平台概要二维精密转台采用了大尺寸中空和正交性设计思想。能实现俯仰和垂向旋转两个轴的高精度、高刚度360°无限制旋转运动。可广泛应用于激光制导和激光雷达和空中目标跟踪等领域。特别适用于光电传感器和前视红外测试，陀螺仪的角度测试和惯性单元的加速度测试。 参考价面议 -
交叉十字XY 台（Cross-Series XY Stage）
平台特性 高动态响应、非接触直线电机驱动 高精度的线性光学编码器反馈 高刚度、高精度的循环滚柱导轨设计 极为优异的定位精度和重复性表现 平台概要交叉十字XY 台采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现水平向X/Y 轴2 自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛应用于半导体、平板显示、光纤对准、生物医药等领域。 参考价面议 -
垂向台（Lift and Z Stage）
该系列产品包含气浮重力补偿垂向台（ALGZ-60a Stage）、磁浮重力补偿垂向台（MZ-10 Stage）、重载垂向台（MTZ-25 Stage） 参考价面议