无氧烘箱 12寸晶圆烘箱 MES无氧箱

一．概述：

无氧化烘箱，在工作时，工作室内充满了惰性气体CO2,N2,防止材料在烘烤时被氧化。无氧化烘箱在工业中的用途：IC包装，LCD,晶体管，传感器，二极管，石英晶体振荡器，混合集成电路板……

二．产品技术参数

1.名称及型号：无氧烘箱/烤箱/烘烤箱QMO-500

2、主要技术指标：

2.1含氧量：< 20ppm，50ppm，100ppm,含氧量：<=5000ppm;

2.2温度范围： RT（室温）+60～ +250℃；

2.3温度均匀度：±1.5%;

2.4温度波动度：±0.5℃（空载）

2.5温控精度：±0.1℃;

2.6烘箱搁板为活动形式。

2.7工作尺寸：W800×H800×D800

2.8电源：380V 3φ 50HZ 8Kw

3、箱体结构：

3.1烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成，结构合理，外观美观大方；

3.2全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；

3.3箱体材料：外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘；

3.4内胆材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生PARTICLE；

3.5中桶材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊密封加工(防污染)。

3.6保温材料：硅酸铝棉；

3.7夹层降温：水冷降温.(从250度降到60度预计50分钟内）

4、可靠的测控系统

4.1温控装置：智能控制系统,日本优易控

10〃TFT真彩触摸薄屏

程式编辑：可预编120个程式，每个程式可编99段，共1200段

历史数据查询(数据可以通过USB接口导出)

温度、含氧量曲线可同时显示

4.2温控输出：SSR输出，欧姆龙继电器，固态继电器

4.3含氧量分析仪：配国产含氧量分析仪（上海英盛ZO-802）。 　　　　　　　　

4.4氮气系统：Ｎ２流量计控制进气量；入气口:10mm；排气口：φ100，位于箱体顶部，排气可设定时间段。

5、完善的安全保护措施：漏电断路器//超温保护//欠相保护//马达过载电流保护//机台异常蜂鸣器警示

产品参考图：