多层/腔无尘无氧烘箱

一．概述：
普遍应用于航空、航天、石油、化工、军事、船舶、电子、通讯等科研及生产单位，主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化，模压固烤、IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备件等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

二、产品主要技术参数：
名称及型号：多层/腔无尘无氧烘箱HSQMO-6D
设备特点:可对接MES系统
内胆为SUS304不锈钢满焊密封结构，防止气体进入绝缘层；
表面喷塑处理保证了设备的抗腐蚀能力；
门密封设计保证设备在300℃高温运行时完整的密封效果；
大门与加热器/风门互锁功能。
可连电脑，实现同时监测与控制多台设备
历史数据、历史操作,历史报警数据查询，记忆操作步骤，操作便捷！
智能化多段可编程控制，真正实现复杂的试验过程自动控制和运行

主要技术参数
工作尺寸：W500×H500×D500*6
温度范围：室温+20℃～300℃
均匀度：±1.5%（空载）
均匀度：±2%（满载）
洁净等级：Class100级
含氧量：<=20PPM
升温速度：常温～+250℃,升温速率：0～7℃/min，升温斜率程序可控
降温速度：降温斜率程序可控,250～+120℃，2℃/min以内可以设定，120～70℃，降温时间<=50min,
温控器：日本优易控控制模组+PC界面

三、箱体结构：
1.烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成，结构合理，外观美观大方。
2.全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘。
3.箱体材料：外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘。
4.内胆材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤产生PARTICLE。
5.中桶材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊密加工(防污染)。
6.保温材料:超细玻璃棉;
7.电热器:采用进口覆套式电热器 (SHEATHED HEATER)无尘化电热发生器。
8.洁净度:烤箱内部均采用无尘化配件及材料。

四、工作室的气流设计：
1.采用特殊设计，满足内腔Class100洁净标准；
2.排气口：３"φ(附自动启闭风门)，以达到强烈循环效果而降温，排风加冷阱。
3.进气口：加附Ｎ２流量计控制进气量。入气口：10mm
4.压缩气体过滤器，可把气体过滤到CLASS100，净化气体流量：300L/分钟。

五、可靠的测控系统
温控装置：智能控制系统,日本优易控（可联网，对接MES及SECSGEM） 10〃TFT真彩触摸薄屏
程式编辑：可预编120个程式，每个程式可编99段，共1200段；历史数据查询(数据可以通过USB接口导出) ；三点温度记录；温度测量：采用特制锴装铂电阻

六、完善的安全保护措施：
漏电断路器//控制线路保险丝装置//超温防止保护装置//欠相保护//电热器过电流保护装置//马达电流过载保护//机台异常时蜂鸣器警示//门安全开关//三色指示灯

产品参考图：