热式气体质量流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的T型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。计算机解算出流经振管的质量流量。不同的介质流经传感器时，振管的主振频率不同，据此解算出介质密度。安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。

成都松盛测控技术有限公司推出的DC-M100数字通讯的中大流量规格热式气体质量流量控制器/质量流量计，为满足用户对产品的要求，松盛测控的全系列热式气体质量流量控制器/质量流量计均采用进口产品标准标定，产品可与进口热式气体质量流量控制器/质量流量计直接对标。广泛应用于SPUTTER磁控溅射台、等离子刻蚀、石油化工、高校实验室、科研单位、航空航天、光伏行业、半导体行业、真空镀膜行业、光电产业到工业工具的表面镀膜、PVD、CVD、MOCVD、氧化、离子注入、精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、食品及制药产业、气相色谱仪等相关行业。

热式气体质量流量计DC-M100数字通讯的中大流量规格热式气体质量流量控制器/质量流量计产品的正常工作压力范围可达：10MPa（100Bar），供电方式为+14V—﹢27V的宽频供电，能满足市面上绝大多数用户的使用要求和使用习惯。产品精度优于±1%F.S，响应速度优于2秒且流量值稳定速度也是极快的。阀体过流材质均选用品质良好的316L不锈钢。DB9针的电气接头，也方便了用户在使用时的拆装。具有响应速度快、准确度高、稳定的流量控制、宽压力范围、优良的耐腐蚀性和出色的线性度等优点，能监测和控制各种惰性气体及部分具有腐蚀性的气体。