超声波检测属于机械振动波的一种，基于能量的角度而言，局部放电的过程即为能量瞬时爆发的过程，电能通过声能、光能、热能以及电磁能的形式释放出去，电气击穿发生在空气间隙，瞬间就可以完成放电，此时电能也会在一瞬间转化为热能，放电中心的气体受到热能的作用会发生膨胀，通过声波向外传播，传播区域内气体被加热后形成一个等温区，其温度超出环境温度;等到这些气体冷却后开始收缩，则会产生后续波，后续波的频率以及强度均比较低，包含各种频率分量，有很宽的频带，超声波的频率大于20khz。因为局部放电的区域相对较小，所以局放声源即为点声源。
超声波局部放电检测方法是用于电力设备局部放电缺陷检测与定于的常用测量方法之一，其检测频率范围通常在20-200kHz之间，超声波局部放电监测技术可广泛应用于电力电缆及其附件、变压器、开关柜等电力设备的局放检测。