产品特性

采用白光共聚焦色差技术，可获得纳米级的分辨率

测量具有非破坏性，测量速度快，精.确度高

测量范围广，可测透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)；

尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面

不受样品反射率的影响

不受环境光的影响

测量简单，样品无需特殊处理

Z方向,测量范围大：为27mm

主要技术参数

扫描范围：400mm×600mm(*大可选600mm*600mm)

扫描步长：5nm

扫描速度：1m/s

Z方向测量范围：27mm

方向测量分辨率：2nm

产品应用

MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料，光学元件、陶瓷和*材料的研发

主要用于

--生产现场三维形貌测试的理想选择 

--高速三维表面形貌检测