SEM-AFM原子力显微镜
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上海市所在地
上海内诺科技有限公司
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原子力显微镜
Nators自主开发SEM兼容的原子力显微镜系统可提供在SEM或FIB内进行原位三维形貌扫描和纳米压痕功能。该系统可兼容大部分SEM或FIB系统,包括桌面型SEM。
产品特点:
产品应用:
规格参数
概述
技术参数
样品运动行程
10 mm
样品定位分辨率
100 nm
扫描行程
5 um
扫描器运动分辨率
0.1 nm
力感应范围
+/- 100 uN
力感应分辨率
0.5 nN
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