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概述
DyMaxion RGAs有一系列可选择离子源(开放式,封闭式,流导限制式)和AMU范围(1-100,1-200,和1-300)。零点漂移电子倍增器技术使仪器可以提供可重复的数据,而不必和检测器的电子元件相匹配。内在诊断功能保证了数据的完整性。应用领域包括残气分析,检漏,薄膜沉积,蒸发,分子束外延,等离子刻蚀,离子培植,高能物理,化学气相沉积,发酵,溅射,低温学,真空炉,离子束处理,大气取样,和废气分析。
该仪器的特点包括:
占空间小的只能传感器
离子源的选择
CVD和大气样品应用的封闭离子源
PVD应用的流导限制式离子源
UHV应用的开放离子源
100, 200, 和300 AMU 范围
可选择模拟或数字I/O
零点漂移电子倍增器技术
内在诊断
RS-232 和 RS-485 通信端口