这是通过在样品气体进入离子室之前首先减少它的压力而实现的。正如流导限制型离子源（详见上文介绍），样品气体被限制在一个相对较小的离子室中，灯丝在离子室的外面。差别在于封闭离子源的气体在进入到离子室之前压力首先从CVD（或其他高压方面的应用）的高压被降低到大约10-5 Torr 。因为在这一较低压力下气体密度就会较小，这样一来当取反应性气体样品时就能大大减少分子离子反应了。这样就保持了样品气体的*原始的特性和排除了引入新的不属于样品气体的气体种类的可能性。
封闭离子源RGA 具备了增强的灵敏度，降低的体系压力背景噪声，PPB水平的检测能力。

封闭离子源的另外的特点包括：
传感器室中背景气体对分析信号的*小程度的污染
离子体积外的灯丝排除本底信号
抽取式的离子体积方便清洗
两根涂钍的铱灯丝
可简便替换的灯丝
从传感器真空室的进口到离子体积连接简单